В фармацевтической промышленности чистый пар используется для стерилизации ёмкостного оборудования и технологических устройств, а также для питания паровых стерилизаторов (автоклавов).

Чистый пар генерируется путем испарения очищенной, высокоочищенной воды или воды для инъекций в условиях высокого давления. Качество чистого пара, используемого в фармацевтической промышленности, определяется путем исследования конденсата чистого пара. Требования к качеству конденсата чистого пара аналогичны требованиям к воде для инъекций.

Кроме того, если чистый пар используется в паровых стерилизаторах, то его физические параметры должны соответствовать требованиям, указанным в стандарте EN 285, среди которых основными являются следующие:

Для достижения соответствия параметров качества чистого пара, совместимых с требованиями стандарта EN 285, очень важным является соответствующая подготовка питательной воды для генератора чистого пара, заключающаяся в ее дегазации. С этой целью можно проводить дегазацию термическим методом или мембранным контактором.

Второй, после системы получения, составной частью системы снабжения чистым паром является система его распределения. Задача системы распределения состоит в доведении чистого пара до всех точек потребления под соответствующим давлением и при определенной температуре, но без ухудшения качественных параметров. В связи с этим, систему распределения чистого пара следует проектировать, ограничивая до минимума потери энергии, и гарантируя эффективный отвод конденсата, исключающий риск скопления воздуха и накопления газов.

В наиболее отдаленных и невралгических ответвлениях установки распределения чистого пара, как правило, устанавливаются охладители для отбора проб конденсата чистого пара и контрольные участки для подключения измерительного прибора для контроля физических параметров пара на соответствие требованиям стандарта EN 285.