У фармацевтичній промисловості чистий пар використовується для стерилізації ємнісного і технологічного обладнання, а також для живлення парових стерилізаторів (автоклавів).

Чистий пар генерується шляхом випаровування води очищеної, високоочищеної або води для ін'єкцій в умовах високого тиску. Якість чистого пара, що використовується у фармацевтичній промисловості, визначається шляхом дослідження конденсату чистого пара. Вимоги до якості конденсату чистого пара аналогічні вимогам до води для ін'єкцій.

Крім того, якщо чистий пар використовується в парових стерилізаторах, то його фізичні параметри повинні відповідати вимогам, зазначеним в стандарті EN 285, серед яких основними є наступні:

Для досягнення відповідності параметрів якості чистого пара, сумісних з вимогами стандарту EN 285, дуже важливим є відповідна підготовка живильної води для генератора чистого пара, яка полягає в її дегазації. З цією метою можна проводити дегазацію термічним або мембранним методом.

Другою, після системи отримання, складовою частиною системи постачання чистого пару є система його розподілу. Завдання системи розподілу полягає в доведенні чистого пара до всіх точок споживання під відповідним тиском і при певній температурі, але без погіршення якісних параметрів. У зв'язку з цим, систему розподілу чистого пару слід проектувати, зводячи до мінімуму втрати енергії, і гарантуючи ефективне відведення конденсату, що виключає ризик скупчення повітря і накопичення газів.

У найбільш віддалених і критичних відгалуженнях установки розподілу чистого пара, як правило, встановлюються охолоджувачі для відбору проб конденсату чистого пара і контрольні ділянки для підключення вимірювальних приладів для контролю фізичних параметрів пара на відповідність вимогам стандарту EN 285.